
ECV Pro+ 를 이용한 InP/GaInAsP 레이저 테스트 구조의 프로파일링
ECV Pro+ 를 이용한 InP/GaInAsP 레이저 테스트 구조의 프로파일링
📘 ECV Pro+ 제품 사양 (Specifications)
제품명: ECV Pro+
용도: 전기화학 캐패시턴스-볼티지(Electrochemical Capacitance-Voltage) 프로파일링 장비
🔍 주요 특징 (Key Features)
✅ 완전 자동화로 작업자 의존성 제거
✅ 실시간 샘플 표면 영상 관찰 (ECVision™)
✅ 칼로멜/수은 전극 미사용 – 친환경 설계
✅ 유지보수 간편, 소모품 비용 절감
✅ 다양한 소재와 다층 구조 지원
✅ 소형 일체형 디자인, 공간 절약
⚙ 주요 사양 (Specifications)
항목 내용
측정 농도 범위 | 10¹³ cm⁻³ ~ 10²⁰ cm⁻³ (소재 품질에 따라 다름) |
깊이 범위 | 0.05 μm ~ 50 μm |
깊이 해상도 | 1 nm |
주파수 범위 | 0.3 kHz ~ 5.5 kHz |
신호 진폭 | 0 V ~ 400 mV (pk-pk) |
바이어스 전압 | ±10 V |
전류 적분기 | ±2% (최대 1024 μm) |
충격 전압 | 40 V AC |
광원 | Quartz Halogen 또는 Mercury Xenon (가변 조명) |
운영체제 | Windows 10 |
측정 가능 소재 | III-V, III-N, II-VI, Si, SiC |
설비 요건 | Light Vacuum |
전원 | 110~240 VAC, <5 Amps |
크기 (W × D × H) | 630 mm × 800 mm × 1730 mm |
무게 | 160 kg |
🏢 기업 활용 사례
GaN, InGaN, AlGaN 등 차세대 소재의 도핑 프로파일링
다층 에피택셜 구조 분석
공정 최적화 및 품질 관리 (QC)
Hall 또는 Hg Probe 장비의 대안 솔루션