SEKOA

🔷 Toho HL9900 Hall Effect Measurement System

최첨단 홀 효과 측정 시스템으로,
반도체 재료의 비저항(ρ), 캐리어 농도(N), 이동도(μ)를 정밀하게 측정할 수 있는
올인원 고성능 장비입니다.

📌 주요 특징

✅ 실리콘, 화합물 반도체, 금속 산화물 박막 등 다양한 재료 지원
✅ 모듈형 설계로 업그레이드 및 확장 용이
✅ 낮은 저항부터 높은 저항까지 측정 가능 (0.1 mΩ/sq ~ 1 MΩ/sq 이상)
✅ 저온(90K)부터 고온(500K)까지 측정 가능 (옵션 Cryostat)
✅ AC/DC 측정 모드로 열 효과 및 잡음 최소화

📊 제품 사양 요약

구분 내용

측정 항목	비저항, 캐리어 농도, 이동도, 홀 계수
전류 범위	100 nA ~ 19.9 mA (기본), 1 pA ~ 10 μA (Buffer Amp 옵션)
온도 범위	90K ~ 500K (Cryostat 옵션 사용 시)
자기장	0.5 T (±5%) / 안정성 0.1% (10년) / 균일성 ±1% (25mm)
최대 샘플 크기	15mm × 15mm
측정 모드	AC (213 Hz), DC
입력 임피던스	10¹⁰ Ω (기본), 10¹³ Ω (Buffer Amp 옵션)
입력 누설 전류	20 nA (기본), 40 fA (Buffer Amp 옵션)
소프트웨어	Windows 기반, I-V 커브 확인, 자동 로깅, 데이터 내보내기
샘플 형상 지원	Van der Pauw, Hall Bar, Bridge
냉각 시간	약 5분 (Cryostat 사용 시)
치수 (측정 헤드)	535 × 700 × 295 mm
치수 (계측 유닛)	280 × 400 × 150 mm
무게	측정 헤드 47.8 kg, 계측 유닛 9.0 kg

🛠️ 옵션 액세서리

모델명 설명

HL9902	예비 Teflon 샘플 듀어
HL9903	3인치 Teflon 샘플 듀어
HL9904	교정 세트 (Calibration Set)
HL9920	정밀 스테레오 현미경
HL9910	추가 프로브 (두 개)
HL9950	액체 질소 크라이오스탯 (90K ~ 500K)
HL9980	고임피던스 버퍼 앰프 / 전류 소스

🌍 설치 및 고객사

현재 전 세계 500대 이상 가동 중
대표 고객사: Intel, Samsung, Micron, Infineon, Broadcom, Sandia National Labs 등