Toho Technology
HL9900
HL9900은 고저항부터 저저항 시편까지 폭넓은 소재를 대상으로 이동도와 캐리어 특성을 정밀하게 평가하도록 설계된 고정밀 Hall Effect 측정 시스템입니다. 다양한 반도체 소재
분석을 지원하며, 공정·소재 연구에 필요한 신뢰도 높은 전기적 파라미터를 제공합니다.
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100nA~19.9 Ma Current Range | AC 213 Hz/DC Measurement Modes | 90 K ~ 500 K Temperature Range | ±0.1 K Temperature Stability | 5 minutes Cool-down Time | 15 x 15 mm Max Sample Size |
Key Features & Benefits
폭넓은 소재를 위한 고정밀 Hall Effect 측정 시스템
HL9900은 다양한 반도체 시편을 대상으로 이동도·캐리어 프로파일링을
정밀하게 수행하도록 설계된 고성능 Hall 측정 플랫폼입니다.
넓은 전류 범위와 높은 전압 감도, 정밀한 온도 제어 기능을 통합하여 광범위한 소재 스펙트럼에서 정확한 Hall 측정을 제공합니다.
빠른 쿨다운 성능과 안정적인 극저온(Cryogenic) 운용 능력은 재현성 높은
이동도·캐리어 분석을 가능하게 해, 연구·공정 환경에서 높은 효율과 신뢰도를 보장합니다.
01. 폭넓은 전류 범위 & 높은 활용성
HL9900은 100 nA~19.9 mA의 넓은 전류 범위와 20 V 컴플라이언스 전압을 제공하여
고저항·저저항 시편 모두에서 정확하고 안정적인 Hall 측정이 가능합니다.
이 폭넓은 동작 범위는 연구부터 양산까지 다양한 반도체 소재 분석 요구에 적합합니다.
02. 고속 극저온 온도 제어
HL9950 크라이오스탯과 함께 사용 시, 90 K~500 K, ±0.1 K 안정도의 정밀 온도 제어가 가능하며
약 5분 내 빠른 쿨다운을 지원합니다.
이 기능은 반도체 디바이스의 온도 의존적 전기적 특성을 재현성 있게 평가하는 데 필수적입니다.
03. 초고감도 전압 검출
HL9900은 0.8 μV pk-pk 수준의 전압 감도와 213 Hz에서 15 nV/√Hz의 초저노이즈 성능을 제공하여
미세 신호까지 정확하게 검출합니다.
이를 통해 이동도, 캐리어 농도 등 다양한 전기적 파라미터를 고정밀·고신뢰성으로 분석할 수 있으며,
저신호 환경에서도 뛰어난 성능을 유지합니다.











