• # EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비
  • 종합반도체(IDM) / 디스플레이 / Junction 극소결함 / 부품 / PCB 결함 분석 / 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정
  • Hot spot(핫스폿) / 쇼트(Short) & 누설전류(Leakage Current) 
  • # 비접촉 박막 두께 측정기
  • 반도체 장치, 안경, 스텐트, 태양 전지, 폴리머 코팅, 포토레지스트, 태양 전지 패널, LCD, MEMS 및 주사기 제조업체
  • 1nm 에서 2mm 까지 두께 측정
  • 학교 / 연구실 / 인라인 / 곡면 / 대형 부품 / 게이트형 박막 / 소형 난시 보정 분광계 측정 등  

EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비_종합반도체(IDM)/디스플레이/Junction 극소결함/부품/PCB 결함 분석/쇼트 및 누설전류 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정

HYDROGEL FILMS : Thickness  measurement  

의료 응용 분야 : 하이드로겔 필름 두께 측정



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  1. 하이드로겔 필름은 많은 응용 분야에서 사용됩니다. 한 가지 흥미로운 응용 분야는 형광 기반 하이드로겔 센서와 같이 하이드로겔 필름 두께의 조절이 중요한 바이오 센서입니다. 압타머 기반 DNA 하이드로겔 필름 센서와 같은 다른 센서에서, 두께 측정은 목적 단백질의 검출을 위해 사용됩니다.
  2. 하이드로겔은 물의 농도가 높지만 광산란(scattering)의 원인이 될 수 있는 입자와 겔 형태를 가지고 있기도 합니다. 광학 측정을 잘 하기 위해서는 스팟 사이즈를 최적화하는 것이 중요하며 MProbe 20은 이 측정에 완벽하게 일치합니다.
  3. 공정 개발 중 하이드로겔 필름 두께는 매우 불균일할 수 있습니다. MProbe 시스템을 사용하면 두께 분포를 빠르게 측정하여 공정 최적화에 도움을 줍니다. 측정 분석은 자체 알고리즘 기반 FFT를 사용하여 보정의 필요성을 줄이고 생산 시 인라인 측정에 적합합니다. MProbe 시스템은 TCP를 통해 또는 아날로그 형태로 데이터 출력을 통해 24시간 연속 인라인 두께 모니터링을 제공할 수 있습니다(PLC"Programmable Logic Controller" 통합용)

  4. 대부분의 경우 MProbe 20 Vis는 하이드로겔 필름에 최적의 두께 범위를 제공하지만 두꺼운 필름의 경우 MProbe 20 VisHR을 대신 사용할 수 있습니다.

  1. MProbe 20VisHR 시스템을 사용하여 유리 슬라이드 위 하이드로겔 필름의 반사 스펙트럼을 측정했습니다. 
  2. 무늬는 하이드로겔 층과 유리 슬라이드의 간섭을 나타냅니다. 
  3. 측정은 상단 또는 하단에서 수행할 수 있습니다.

BASIC SPECIFICATION

  • Wavelength range: 700-1100nm (MProbeVisHR); 400-1000nm (Vis)
  • Wavelength resolution:<0.3nm(VisHR), <1nm (Vis)
  • Precision: <0.01nm or 0.01%
  • Accuracy: <1nm or 0.2% 
  • Measurement:< 100ms (VisHR), < 1ms (Vis) (typical, depends on sample reflectivity)
  • Spot size: 200μm or 400 μm (depending on the probe)
  • Integrated 2MB camera to display measurement area
  • Custom holders and automation is available

     

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