Optotherm
IS640-17
IS640-17은 고해상도 적외선 이미징 기반의 열 분석 시스템으로,
첨단 반도체 불량 진단을 위해 정밀하게 설계된 장비입니다.
칩·패키지·PCB 전반에 걸친 미세 온도 편차를 정교하게 포착하여,
잠재적 핫스팟과 결함을 신속하고 정확하게 식별합니다.
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640x480 pixels Array Size | 17 µm Detector Pitch | 7-14 µm Spectral Response | < 30 mK NETD | 60 Hz Frame Rate | 5 µm (with 5 Micron Lens) Pixel Resolution |
Keyfeatures & benefits
첨단 반도체 불량 분석을 위한 고해상도 적외선 이미징 시스템
IS640-17은 비냉각 마이크로볼로미터 기반의 고성능 적외선 카메라로,
반도체 칩·패키지·회로 기판에서 발생하는 열 이상 징후를 정밀하게 감지하도록 설계되었습니다.
세코아(SEKOA)는 본 시스템을 포함한 Optotherm의 다양한 분석 솔루션을
한국 및 글로벌 고객에게 제공합니다.
01. 고해상도 실시간 열화상 분석
640×480 비냉각 마이크로볼로미터 센서를 기반으로 하는 IS640-17은
최대 5 µm 공간 분해능과 실시간 60 Hz 프레임레이트를 제공합니다.
칩·기판·패키지 전반의 미세한 열 이상 신호를 정밀하게 포착하며,
<30 mK(고감도 모드에서는 <12 mK)의 탁월한 열 민감도를 구현합니다.
02. 자동화 분석을 위한 통합 Thermalyze 소프트웨어
Thermalyze 소프트웨어는 Lock-in Thermography, Overlay/Subtraction 비교,
스트립 차트 및 히스토그램 기반 분석 등 고급 진단 기능을 제공합니다.
영역별 방사율 설정, 알람 트리거, 자동 리포트 생성 기능까지 지원하여
정밀 분석의 일관성과 효율성을 크게 향상합니다.
03. 유연한 포지셔닝 스테이지 옵션
모터 구동 및 수동 XYZ 스테이지 모두를 지원하여
웨이퍼·칩·다양한 패키지의 정밀 배치를 가능하게 합니다.
누설 전류, 전력 레일 저항, ESD 손상, 쇼트 및 오픈 검출 등
비파괴 방식의 결함 식별을 위해 최적화된 스테이지 구성을 제공합니다.











