• # EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비
  • 종합반도체(IDM) / 디스플레이 / Junction 극소결함 / 부품 / PCB 결함 분석 / 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정
  • Hot spot(핫스폿) / 쇼트(Short) & 누설전류(Leakage Current) 
  • # 비접촉 박막 두께 측정기
  • 반도체 장치, 안경, 스텐트, 태양 전지, 폴리머 코팅, 포토레지스트, 태양 전지 패널, LCD, MEMS 및 주사기 제조업체
  • 1nm 에서 2mm 까지 두께 측정
  • 학교 / 연구실 / 인라인 / 곡면 / 대형 부품 / 게이트형 박막 / 소형 난시 보정 분광계 측정 등  

EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비_종합반도체(IDM)/디스플레이/Junction 극소결함/부품/PCB 결함 분석/쇼트 및 누설전류 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정

MPROBE 20 SERIES : THIN FILMS THICKNESS MEASUREMENT

MPROBE 20 

Thin film measurement system (single-spot) 


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  1. MProbe 20은 전 세계적으로 수천 가지 응용 분야에 사용되는 박막 두께 측정 데스크탑 시스템입니다. 
  2. 마우스 클릭 한 번으로 박막 두께와 굴절률을 측정합니다.
  3. 다층 필름 스택을 포함하여 1nm – 1mm의 두께를 빠르고 안정적으로 측정할 수 있습니다. 
  4. 다양한 MProbe 20 모델은 주로 파장 범위와 분광계의 분해능으로 구별되며, 이에 따라 측정할 수 있는 재료의 두께 범위와 유형이 결정됩니다. 
  5. 분광 반사율 빠르고 안정적이며 비파괴적입니다.


WHY MPROBE?

  • 유연성: 모듈형 박막 두께 측정 시스템 - 응용 분야에 가장 적합한 구성을 선택하고 필요할 때 쉽게 업그레이드
  • 정밀도: 타의 추종을 불허하는 정밀도 <0.01nm 또는 0.01%
  • 재료: 500개 이상의 확장된 재료 데이터베이스
  • 소프트웨어: 사용자 친화적이고 기능이 풍부함TFCompanion 소프트웨어가장 복잡한 애플리케이션도 처리할 수 있습니다. 레이어 수에 제한이 없으며 후면 반사율, 표면 거칠기, 흐릿함 등을 지원
  • 통합: 손쉬운 통합 TCP 서버
  • 합리적인 가격: 비교할 수 없는 가격/성능

BASIC SPECIFICATION*

  • Precision: <0.01nm or 0.01% (s.d.of 100 measurements on 200nm oxide)
  • Accuracy: <1nm or 0.2% (filmstack dependent)
  • Stability:< 0.02nm or 0.2% (daily measurements for 20 days)
  • Spot size:< 1mm 
  • Sample size: >= 10mm

* MProbe 20 박막 두께 측정 시스템의 사용 가능한 구성에 대한 자세한 사양을 문의하세요. 

     

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