1. 박막 두께 및 n&k(광학 상수) 측정을 위한 현장 실시간 광학 두께 모니터입니다 . 
2. 시스템은 게이트 데이터 수집을 사용하기 때문에 주변 조명이 높은 환경 에서도 작동할 수 있습니다. 
3. 고강도 플래시 Xe 램프를 사용하여 광대역(UV-NIR) 파장 범위 에서 정확한 측정이 가능합니다.
4. MProbe 50 시스템은 다양한 진공 챔버 형상을 지원하도록 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. 
5. 사용 가능한 광학 포트에 따라 경사 입사 또는 수직 입사를 사용할 수 있습니다. 빛은 샘플 표면에 집중되거나 시준될 수 있습니다. 
6. 반사 프로브는 증착 챔버 광학 포트 외부 또는 내부(광섬유 피드스루 사용)에 배치할 수 있습니다.
7. MProbe 50 시스템에는 움직이는 부품이 없습니다. 일반적인 측정 시간 ~ 10ms. 모든 반투명 필름을 빠르고 안정적으로 측정할 수 있습니다.

WHY MPROBE 50?

• In-situ 박막 두께 및 n&k 측정 
• 높은 주변광 환경에서 측정을 위한 게이트 데이터 수집
• 재료: 500개 이상의 확장된 재료 데이터베이스
• 지속적이고 빠르고 안정적인 측정
• 유연한 구성 - 증착 챔버 형상에 맞게 완전히 맞춤화됨

BASIC SPECIFICATION

• Precision 0.01nm or 0.01%
• Accuracy 0.2% or 1 nm
• Stability 0.02nm or 0.03%
• Spot Size 3 mm typical (depends on configuration)
• Sample Size from 4 mm
• Measurement < 1 s (20ms to 200ms typical)

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