1. MProbe 60은 R&D 센터 및 소규모 제조를 위해 설계된 완전한 턴키 시스템입니다. 
2. 두께/n&k 측정 기능과 매핑 자동화 및 작은 지점 측정 기능을 결합합니다. 
3. MProbe 60은 전 세계 주요 R&D/나노기술 센터에서 사용됩니다. 
4. 다층 필름 스택을 포함하여 1nm~2mm의 두께를 빠르고 안정적으로 측정할 수 있습니다.

WHY MPROBE 60?

• 유연한 모듈식 매핑 자동화 기능을 갖춘 턴키 시스템 
• 정밀도: 타의 추종을 불허하는 정밀도 <0.01nm 또는 0.01%
• 재료: 500개 이상의 확장된 재료 데이터베이스
• 소프트웨어: 사용자 친화적이고 기능이 풍부한 TFCompanion 소프트웨어는 가장 복잡한 애플리케이션도 처리할 수 있습니다. 레이어 수에 제한이 없으며 뒷면 반사율, 표면 거칠기, 흐릿함 등을 지원합니다. 통합된 카메라와 이미징 소프트웨어를 사용하면 측정 위치를 정확히 찾아내고 결과를 이미지에 직접 표시할 수 있습니다.
• 합리적인 가격: 비교할 수 없는 가격/성능

BASIC SPECIFICATION

• Precision: <0.01nm or 0.01% (s.d.of 100 measurements on 200nm oxide)
• Accuracy: <1nm or 0.2% (filmstack dependent)
• Stability:< 0.02nm or 0.2% (daily measurements for 20 days)
• Spot size: 4μm to 200μm (typical- depending on objective used)
• Sample size: up to 300 mm
• Mapping stage: 0.5 μm resolution, 1μm repeatability
• Z-axis: 0.25 μm resolution, 0.5μm repeatability

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