• # EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비
  • 종합반도체(IDM) / 디스플레이 / Junction 극소결함 / 부품 / PCB 결함 분석 / 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정
  • Hot spot(핫스폿) / 쇼트(Short) & 누설전류(Leakage Current) 
  • # 비접촉 박막 두께 측정기
  • 반도체 장치, 안경, 스텐트, 태양 전지, 폴리머 코팅, 포토레지스트, 태양 전지 패널, LCD, MEMS 및 주사기 제조업체
  • 1nm 에서 2mm 까지 두께 측정
  • 학교 / 연구실 / 인라인 / 곡면 / 대형 부품 / 게이트형 박막 / 소형 난시 보정 분광계 측정 등  

EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비_종합반도체(IDM)/디스플레이/Junction 극소결함/부품/PCB 결함 분석/쇼트 및 누설전류 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정

MPROBE UVVISF : GATED THIN FILM MEASUREMENT 

MPROBE UVVisF 

Thin film measurement system


Contact us with information about your application for a MProbe quote

  1. MProbe UVVisF는 박막의 두께와 굴절률을 측정합니다. 
  2. 주변광이 높은 환경(R&D 및 생산 애플리케이션의 현장, 인라인)에서 작동할 수 있습니다. 
  3. 이 시스템은 MProbe UVVisSr 시스템과 유사하지만 UV 파장에 더 짧은 파장 범위를 가중시킵니다. 
  4. 이 시스템은 빠른 측정과 긴 램프 수명이 필요한 응용 분야용으로 설계되었습니다. 
  5. 이 시스템은 Xe 램프 플래시(~2 µs )의 게이트 획득을 사용하기 때문에 주위 조명이 높은 환경(예: 스퍼터링)에서 작동할 수 있습니다 .  

WHY MPROBE UVVisF?

  • 낮은 반사율 및 높은 반사율 샘플에 대한 빠른 측정. 일정하고 예측 가능한 측정 빈도. 일반적으로 10Hz – 20Hz 
  • 다른 데스크탑 MProbe 시스템과 동일한 탁월한 정밀도(<0.01nm) 
  • 게이트 획득으로 인해 주변광이 높은 환경에서도 사용 가능 
  • 재료: 500개 이상의 확장된 재료 데이터베이스
  • 소프트웨어: 사용자 친화적이고 기능이 풍부한 TFCompanion 소프트웨어는 가장 복잡한 애플리케이션도 처리할 수 있습니다. 레이어 수에 제한이 없으며 뒷면 반사율, 표면 거칠기, 흐릿함 등을 지원합니다. 
  • 합리적인 가격: 비교할 수 없는 가격/성능

BASIC SPECIFICATION*

  • 20W Xe Flash lamp (1.5mm arc, >20000 hrs lifetime at 10Hz)
  • Precision: <0.01nm or 0.01%
  • Accuracy: <1nm or 0.2% (filmstack dependent)
  • Stability:< 0.02nm or 0.2%
  • Spot size: <1mm
  • Sample size: up to 200 mm

     

Copyright © SEKOA