Optotherm
MW640-15
MW640-15는 Optotherm의 최고 감도급 중파장 적외선(MWIR) 카메라로,
Lock-in Thermography 기반의 전면·후면 반도체 결함 분석에 최적화된 시스템입니다.
최대 2 µm 공간 분해능을 구현하여 SiC 등 다양한 윈도우 소재를 통과하는
미세 열 이상 신호까지 정밀하게 감지합니다.
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640x512 pixels Array Size | 15 µm Detector Pitch | 3.6-4.9 µm Spectral Wavelength | < 25 mK NETD | 100 Hz Frame Rate | 2 µm (with 2 Micron Lens) Pixel Resolution |
Keyfeatures & benefits
고해상도 중파장 적외선(MWIR) 열화상 기반 반도체 분석 시스템
MW640-15는 냉각식 중파장 적외선(MWIR) 기반의 고성능 이미징
시스템으로, Lock-in Thermography(LIT) 분석에 특화되어 있습니다.
위상 기반 열화상 기법을 통해 반도체 소자의 미세 결함을 고감도로 검출하며,
세코아(SEKOA)는 본 시스템을 포함한 Optotherm의 첨단 LIT 분석 솔루션을 한국 및 글로벌 고객에게 제공합니다.
01. 고감도 Lock-in Thermography
MW640-15는 Lock-in Thermography(LIT)에 최적화된 냉각식 MWIR 카메라로,
최대 100 Hz 프레임레이트와 25 Hz까지의 위상 기반 열 분석을 안정적으로 지원합니다.
이를 통해 열 확산 영향은 최소화되고, 결함 위치의 정밀한 국소화가 가능합니다.
<25 mK의 뛰어난 열 민감도와 2 µm 공간 분해능을 제공하며,
백사이드 이미징, 적층 다이 분석, SiC 기반 투명도 분석에도 탁월한 성능을 발휘합니다.
02. Thermalyze 기반 고급 열 분석 기능
Thermalyze 소프트웨어는 LIT를 넘어 다양한 분석 기능을 제공합니다.
이미지 오버레이/서브트랙션 비교, 온도 그래프 및 히스토그램 분석,
영역별 온도 분포 통계, 열 프로파일 트래킹 등이 포함됩니다.
또한 방사율 테이블 기반 보정, 스크립트 기반 소스 미터 제어,
자동화된 테스트 시퀀싱을 지원해 복잡한 열 분석을 효율적으로 수행합니다.
03. 유연한 스테이지 및 프로빙 옵션
MW640-15는 모터식 및 수동 XYZ 스테이지를 모두 지원하여
웨이퍼·패키지·보드의 정밀한 위치 제어가 가능합니다.
선택 가능한 액세서리로는 열전기 스테이지 및 컨트롤러,
디바이스 프로빙 플랫폼, 니들 프로브 등이 제공되며,
비파괴 분석 환경에서 고해상도 열화상 기반 결함 진단을 수행할 수 있습니다.
