• # EMMI 적외선 열영상 결함 분석 장비
  • 종합반도체(IDM) / 디스플레이 / Junction 극소결함 / 부품 / PCB 결함 분석 / 미세 결함 불량 위치 및 깊이 측정
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  • # 비접촉 박막 두께 측정기
  • 반도체 장치, 안경, 스텐트, 태양 전지, 폴리머 코팅, 포토레지스트, 태양 전지 패널, LCD, MEMS 및 주사기 제조업체
  • 1nm 에서 2mm 까지 두께 측정
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Parylene thickness measurement    

파릴렌 두께 측정



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  1. 파릴렌(p-자일렌) 폴리머 코팅은 컨포멀(conformal) 및 핀홀 프리(pinhole free)이며, 많은 응용 분야에서 수분 및 유전체 장벽으로 사용됩니다. 
  2. 파릴렌 폴리머에는 여러 가지 유형이 있습니다 : 파릴렌 C, 파릴렌 N, 파릴렌 AF-4, 파릴렌 SF, 파릴렌 HT, 파릴렌 X 등. 이 모든 파릴렌 유형은 화학적 및 광학적 특성이 다르므로 재료의 종류에 따라 굴절률이 크게 달라질 수 있습니다. 
  3. 파릴렌 필름은 일반적으로 두께가 두껍고 굴절률(물질의 산포)을 알고 있다고 가정하면 FFT 후막 알고리즘을 사용하여 두께를 측정하기 쉽습니다. 이 방법은 필름 스택의 정확한 보정이나 상세한 모델이 필요하지 않으므로 생산 환경에서 편리합니다. 그러나 정확한 굴절률을 알지 못하면 두께 판독값도 부정확해집니다. 이 경우 먼저 굴절률 산포를 측정해야 하며 R.I.가 결정된 후 두께를 정확하게 결정하기 위해 후막(FFT 기반 알고리즘)을 사용할 수 있습니다.
  4. MProbe는 파릴렌 필름을 데스크톱 또는 온라인에서 직접 제품에 빠르고 정확하며 비파괴적인 측정을 위한 솔루션을 제공합니다.
  5. 데스크톱 시스템의 경우 MProbeVis 또는 MProbeHC가 사용되며, 샘플 스테이지에 놓을 수 없는 크고 구부러진 금속 시트에 MProbeHC가 사용되며, 온라인 애플리케이션의 경우 MProbeVis 헤드가 스캐너와 통합되거나 다채널 버전이 사용됩니다.
  6. 모든 MPROBE 시스템은 응용프로그램 요구사항에 맞는 특수한 반사 프로브, 소프트웨어 기능 및 보고서 프로토콜로 사용자 정의가 가능하며, Modbus TCP 기반 인터페이스를 통해 타사 소프트웨어와의 손쉬운 통합이 가능합니다.
  7. MProbe는 유기 또는 수성 기반의 다른 폴리머 코팅을 측정할 수 있습니다. 측정 방법은 화학적 조성에 의존하지 않고 재료의 투광성만 요구합니다.
파릴렌 코팅이 된 알루미늄 샘플
파릴렌 코팅이 된 알루미늄 샘플
측정된 데이터에 모델을 직접 피팅하여 Parylene 코팅의 두께 및 n&k 측정
측정된 데이터에 모델을 직접 피팅하여 Parylene 코팅의 두께 및 n&k 측정

Why use MProbeVis? 

  • 빠르고 안정적인 측정
  • 오래 지속되는 광원을 갖춘 경제적인 시스템(수명 10,000시간)
  • 사용자 친화적이고 강력한 소프트웨어
  • 400nm -1000nm 파장 범위가 이러한 측정에 가장 적합합니다.
MPROBE VIS : 후막 알고리즘을 이용한 파릴렌 두께 측정
MPROBE VIS : 후막 알고리즘을 이용한 파릴렌 두께 측정

BASIC SPECIFICATION

  • Wavelength range: 400-1000nm
  • Wavelength resolution:<2 nm
  • Precision: <0.01nm or 0.01%
  • Accuracy: <1nm or 0.2% 
  • Measurement:< 100ms (typical, depends on sample reflectivity)
  • Spot size: 1mm 
  • Universal sample stage with focusing lens and fine adjustment or a customized probe

     

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