Optotherm
SW640-5
SW640-5는 냉각식 InGaAs 기반 SWIR 카메라를 탑재한 포톤 이미징 시스템으로,
Latch-up, 누설 전류, 접합 손상 등 반도체 소자에서 발생하는 미약한 포톤 방출을 비침습적으로 감지합니다.
Optotherm의 Univivd 마이크로스코프 및 Thermalyze 소프트웨어와 연동되어
고정밀 결함 분석 환경을 제공합니다.
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640x480 pixels Array Size | 5 µm Detector Pitch | 0.4-1.7 µm Spectral Wavelength | 1/4 inch Sensor Size | 100 Hz Frame Rate | 250 nm (with 20X Lens) Pixel Resolution |
Keyfeatures & benefits
냉각식 InGaAs SWIR 센서를 기반으로 한 고감도 포톤 방출 이미징 시스템
SW640-5는 640×480 InGaAs 냉각식 SWIR 센서를 기반으로 한 포톤 이미징 시스템으로, 400–1700 nm 영역의 미약한 광 방출을 정밀하게 감지합니다.
Latch-up, 누설 전류, 접합 손상, 유전체 파괴, 게이트 산화막 결함 등
반도체 소자 내 다양한 고장 메커니즘을 비침습적으로 식별할 수 있습니다.
Univid SWIR 마이크로스코프 및 Thermalyze 소프트웨어와의 통합을 통해
정확한 결함 위치 파악과 자동화된 이미지 분석 기능을 제공합니다.
01. 비파괴 포톤 방출 이미징
SW640-5는 냉각식 InGaAs 기반 SWIR 센서를 탑재하여
Latch-up, 누설 전류, 접합 손상 등 다양한 고장 모드에서 발생하는
미약한 포톤 방출 신호를 고감도로 검출합니다.
이 시스템은 완전 비침습적 Photon Emission Microscopy(PEM) 분석을 지원하며,
가시광 및 NIR 카메라와 병렬 구성해 비교 이미징 워크플로우도 구축할 수 있습니다.
02. Thermalyze 소프트웨어 기반 고급 분석 기능
SW640-5는 Optotherm의 Thermalyze 소프트웨어와 통합되어
Lock-in Thermography, 오버레이/서브트랙션 비교, 히스토그램 분석,
스트립 차트 디스플레이 등 다양한 진단 기능을 제공합니다.
영역별 방사율 제어, 온도 알람, 자동 리포트 생성 기능을 통해
정밀한 결함 분리와 정량적 PEM 분석을 수행할 수 있습니다.
03. Univivd 마이크로스코프 플랫폼과의 호환성
SW640-5는 Univivd 광학 마이크로스코프 시스템과 결합하여
0.5X~20X 고해상도 배율을 제공하며, 4-포지션 대물렌즈 터릿을 지원합니다.
모터 기반 파인 포커스 제어와 교체형 광학 모듈로 사용성을 향상시켰으며,
옵션인 빔스플리터 및 45° 미러 블록은 광 경로 효율을 극대화해
컴팩트한 장비 설계 내에서 최적의 포톤 수집 성능을 제공합니다.
