• # EMMI ์ ์™ธ์„  ์—ด์˜์ƒ ๊ฒฐํ•จ ๋ถ„์„ ์žฅ๋น„
  • ์ข…ํ•ฉ๋ฐ˜๋„์ฒด(IDM) / ๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด / Junction ๊ทน์†Œ๊ฒฐํ•จ / ๋ถ€ํ’ˆ / PCB ๊ฒฐํ•จ ๋ถ„์„ / ๋ฏธ์„ธ ๊ฒฐํ•จ ๋ถˆ๋Ÿ‰ ์œ„์น˜ ๋ฐ ๊นŠ์ด ์ธก์ •
  • Hot spot(ํ•ซ์Šคํฟ) / ์‡ผํŠธ(Short) & ๋ˆ„์„ค์ „๋ฅ˜(Leakage Current) 
  • # ๋น„์ ‘์ด‰ ๋ฐ•๋ง‰ ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •๊ธฐ
  • ๋ฐ˜๋„์ฒด ์žฅ์น˜, ์•ˆ๊ฒฝ, ์Šคํ…ํŠธ, ํƒœ์–‘ ์ „์ง€, ํด๋ฆฌ๋จธ ์ฝ”ํŒ…, ํฌํ† ๋ ˆ์ง€์ŠคํŠธ, ํƒœ์–‘ ์ „์ง€ ํŒจ๋„, LCD, MEMS ๋ฐ ์ฃผ์‚ฌ๊ธฐ ์ œ์กฐ์—…์ฒด
  • 1nm ์—์„œ 2mm ๊นŒ์ง€ ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •
  • ํ•™๊ต / ์—ฐ๊ตฌ์‹ค / ์ธ๋ผ์ธ / ๊ณก๋ฉด / ๋Œ€ํ˜• ๋ถ€ํ’ˆ / ๊ฒŒ์ดํŠธํ˜• ๋ฐ•๋ง‰ / ์†Œํ˜• ๋‚œ์‹œ ๋ณด์ • ๋ถ„๊ด‘๊ณ„ ์ธก์ • ๋“ฑ  

EMMI ์ ์™ธ์„  ์—ด์˜์ƒ ๊ฒฐํ•จ ๋ถ„์„ ์žฅ๋น„_์ข…ํ•ฉ๋ฐ˜๋„์ฒด(IDM)/๋””์Šคํ”Œ๋ ˆ์ด/Junction ๊ทน์†Œ๊ฒฐํ•จ/๋ถ€ํ’ˆ/PCB ๊ฒฐํ•จ ๋ถ„์„/์‡ผํŠธ ๋ฐ ๋ˆ„์„ค์ „๋ฅ˜ ๋ฏธ์„ธ ๊ฒฐํ•จ ๋ถˆ๋Ÿ‰ ์œ„์น˜ ๋ฐ ๊นŠ์ด ์ธก์ •

TTFCOMPANION SOFTWARE  : REFLECTANCE, TRANSMITTANCE, ELLIPSOMETRY

TTFCOMPANION SOFTWARE 

Thin film measurement software


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  1. TFCompanion ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด๋Š” ๋ชจ๋“  MProbe ์‹œ์Šคํ…œ์— ํฌํ•จ๋˜์–ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ๋˜ํ•œ ๋ฐ•๋ง‰ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์œ„ํ•œ ๋…๋ฆฝํ˜• ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด(๋ฐ˜์‚ฌ์œจ, ํƒ€์›๊ณ„์ธก๋ฒ•, ์ด๋ฏธ์ง• ํƒ€์›๊ณ„์ธก๋ฒ• ๋“ฑ์˜ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋ฒ„์ „)๋กœ ์‚ฌ์šฉํ•  ์ˆ˜ ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด๋Š” ๋ฐ•๋ง‰ ๋‘๊ป˜ ์ธก์ •์—์„œ ์ค‘์š”ํ•œ ์—ญํ• ์„ ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 
  2. ์‚ฌ์šฉ์ž์—๊ฒŒ ํˆฌ๋ช…ํ•œ ๋‘ ๊ฐ€์ง€ ๊ธฐ๋Šฅ์ด ์žˆ์Šต๋‹ˆ๋‹ค. ์ฆ‰ (ํ•˜๋“œ์›จ์–ด์—์„œ) ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ ๋ฐ์ดํ„ฐ์˜ ์ œ์–ด/๋ฐ์ดํ„ฐ ํš๋“๊ณผ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„/ํ•ด์„์ž…๋‹ˆ๋‹ค.
  3. TFCompanion์€ ๋ฐ•๋ง‰ ๋ถ„์„ ๋ฐ ๊ณ„์ธก์„ ์œ„ํ•œ ๊ฐ•๋ ฅํ•˜๊ณ  ์‚ฌ์šฉ์ž ์นœํ™”์ ์ธ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด ์• ํ”Œ๋ฆฌ์ผ€์ด์…˜์ž…๋‹ˆ๋‹ค. ์ธก์ • ๋ฐ์ดํ„ฐ์˜ ํ•ด์„์„ ์œ„ํ•œ ๋‹ค์žฌ๋‹ค๋Šฅํ•œ ๋ถ„์„ ๋„๊ตฌ๋ฅผ ๊ฒฐํ•ฉํ•˜์—ฌ ํ•„๋ฆ„ ์Šคํƒ์˜ ์‹ค์ œ ๋ฌผ๋ฆฌ์  ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜(์ธต์˜ ๋‘๊ป˜ ๋ฐ ์žฌ๋ฃŒ์˜ ๊ด‘ํ•™์  ํŠน์„ฑ ๋“ฑ)๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  4. ๋ถ„์„: ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ, ํˆฌ๊ณผ์œจ, ํƒ€์›๊ณ„์ธก๋Ÿ‰ ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ์„ ํ•จ๊ป˜ ๋˜๋Š” ๊ฐœ๋ณ„์ ์œผ๋กœ ๋ถ„์„ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. ์˜์ƒ ํƒ€์›๊ณ„์ธก๋Ÿ‰, ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ, ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 
  5. ์ธก์ • ๊ฒฐ๊ณผ์— ๋”ฐ๋ผ ํ•„๋ฆ„ ์Šคํƒ ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜๋ฅผ ๊ฒฐ์ •ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค : ๋‘๊ป˜, ๊ด‘ํ•™ ์ƒ์ˆ˜, ํ‘œ๋ฉด ๊ฑฐ์น ๊ธฐ, ๋ฐด๋“œ ๊ฐญ
  6. ์‹œ๋ฎฌ๋ ˆ์ด์…˜: ์ง€์ •๋œ ํ•„๋ฆ„ ์Šคํƒ์˜ ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ/ํˆฌ๊ณผ์œจ/์—˜๋ฆฝ์Šค๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ ์ŠคํŽ™ํŠธ๋Ÿผ, ํ•„๋ฆ„ ์Šคํƒ ํŒŒ๋ผ๋ฏธํ„ฐ์— ๋Œ€ํ•œ ์ธก์ • ๊ฐ๋„ ๊ฒฐ์ •
  7. ์ถ”์ •์น˜: ์„ ํƒ๋œ ํ•„๋ฆ„ ์Šคํƒ ๋ฐ ์‹œ์Šคํ…œ ๊ตฌ์„ฑ์„ ๊ธฐ๋ฐ˜์œผ๋กœ ํ•œ ์ธก์ • ๋ฐ˜๋ณต์„ฑ. ์ตœ๋Œ€ ์ •๋ฐ€๋„๋ฅผ ์œ„ํ•œ ์ธก์ • ๋ ˆ์‹œํ”ผ์˜ ๋น„ํ–‰ ์ „ ์ตœ์ ํ™”. ๋Œ€ํ˜• ์žฌ๋ฃŒ ๋ผ์ด๋ธŒ๋Ÿฌ๋ฆฌ(500๊ฐœ ์ด์ƒ์˜ ์žฌ๋ฃŒ)๋ฅผ ํฌํ•จํ•˜๋ฉฐ, ๋‹ค์–‘ํ•œ ์žฌ๋ฃŒ์— ๋Œ€ํ•œ ๊ด‘ํ•™ ์ƒ์ˆ˜ ๋ถ„์‚ฐ์„ ํ‘œํ˜„ํ•˜๊ณ  n&k ์ธก์ •์„ ๊ฐ€๋Šฅํ•˜๊ฒŒ ํ•˜๊ธฐ ์œ„ํ•ด ์ฝ”์‹œ์—์„œ ํƒ€์šฐํฌ๋กœ๋ Œ์ธ , ๋“œ๋ฃจ๋“œ ๊ทผ์‚ฌ๊นŒ์ง€ ๋งŽ์€ ์ˆ˜์˜ ๋งค๊ฐœ ๋ณ€์ˆ˜ํ™”๋œ ์žฌ๋ฃŒ ์œ ํ˜•์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  8. ๊ฐ€์ ธ์˜ค๊ธฐ: ํ…์ŠคํŠธ ํ˜•์‹์˜ ์ธก์ • ๋ฐ์ดํ„ฐ, ํŠนํžˆ ๋ชจ๋“  ์ฃผ์š” ํƒ€์›๊ณ„/๋ฐ˜์‚ฌ๊ฒฝ ๊ณ„์ธก๊ธฐ๋กœ๋ถ€ํ„ฐ์˜ ๊ฐ€์ ธ์˜ค๊ธฐ๋ฅผ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  9. ํ†ตํ•ฉ: ์›ํ™œํ•œ ๋ฐ์ดํ„ฐ ์ˆ˜์ง‘ ๋ฐ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์œ„ํ•ด ๋งŽ์€ ์ƒ์—…์šฉ ๊ด‘์„ฌ์œ  ๋ถ„๊ด‘๊ธฐ ์‚ฌ์šฉ

WHY TFCompanion?

  • ์‚ฌ์šฉ์ž ์นœํ™”์ ์ด๋ฉด์„œ๋„ ๊ฐ•๋ ฅํ•œ ์†Œํ”„ํŠธ์›จ์–ด. ๊ด‘ํ•™ ์ธก์ •ํ•™ ๋ถ„์•ผ์—์„œ ์ˆ˜์‹ญ ๋…„๊ฐ„์˜ ๊ฒฝํ—˜์„ ๋ฐ”ํƒ•์œผ๋กœ ์ฒ˜์Œ๋ถ€ํ„ฐ ๋๊นŒ์ง€ ๊ตฌ์ถ•
  • ํ™•์žฅ๋œ ์žฌ๋ฃŒ ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฒ ์ด์Šค(500๊ฐœ ์ด์ƒ) ๋ฐ ๋‹ค์–‘ํ•œ ๋งค๊ฐœ๋ณ€์ˆ˜ํ™”๋œ ์žฌ๋ฃŒ ์œ ํ˜•(Cauchy, Tauc-Lorentz ๋“ฑ) ์ง€์›
  • ํ›„๋ฉด ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ, ์ง‘์ค‘๋œ ๋น”, ํ๋ฆฟํ•จ, ํ‘œ๋ฉด ๊ฑฐ์น ๊ธฐ, ํŒŒ์žฅ/๊ฐ๋„ ๋ถ„ํ•ด๋Šฅ ๋“ฑ์— ๋Œ€ํ•œ ๋ณด์ •์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  • ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ, ํˆฌ๊ณผ์œจ, ์—˜๋ฆฝ์†Œ๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ ๋ฐ์ดํ„ฐ๋ฅผ ํ•จ๊ป˜ ๊ฐ€์ ธ์˜ค๊ณ  ๋ถ„์„ํ•˜๋Š” ์˜ต์…˜
  • ์ž๋™ํ™”: ํ†ตํ•ฉ TCPIP Modbus ํ˜ธํ™˜ ์„œ๋ฒ„

TFCompanion Versions (please see brochure for more details):

  • R์€ ๋ฐ˜์‚ฌ/ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค
  • E๋Š” ์—˜๋ฆฝ์†Œ๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค. 
  • RE๋Š” ์—˜๋ฆฝ์†Œ๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ ๋ฐ ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  • REI๋Š” ์—˜๋ฆฝ์†Œ๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ, ์ด๋ฏธ์ง• ์—˜๋ฆฝ์†Œ๋ฉ”ํŠธ๋ฆฌ, ๋ฐ˜์‚ฌ์œจ ๋ฐ ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ์ดํ„ฐ ๋ถ„์„์„ ์ง€์›ํ•ฉ๋‹ˆ๋‹ค.
  • RA ๊ณ ๊ธ‰ ๋ฒ„์ „ ๋ฐ˜์‚ฌ/ํˆฌ๊ณผ์œจ ๋ฐ ํ•˜๋“œ์›จ์–ด ํ†ตํ•ฉ(MProbe์™€ ํ•จ๊ป˜ ์ œ๊ณต)

     

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