ECV 프로 +
고급 전기화학 정전용량 전압
특허 출원 중인 ECV Pro+는 ECV 프로파일링을 완전히 새롭게 정의하는 전면적인 재설계의 결과물입니다. 25년간 축적된 ECV 프로파일링 경험과 25년간 축적된 계측기 제어 기술의 발전을 결합하여 역대 가장 정밀하고 재현성이 높으며 자동화 수준이 가장 높은 전기화학 CV 프로파일러를 개발했습니다. ECV Pro+는 작업자에 따른 데이터 변동을 완전히 배제하도록 설계되었습니다. 작업자는 웨이퍼를 스테이지에 올려놓기만 하면 됩니다. 초기 설정 이후 ECV Pro+가 나머지 모든 작업을 처리합니다.
응용 프로그램
ECVPro+는 전례 없는 수준의 제어를 위한 최초의 현장 카메라인 ECVision™을 선보입니다. 이 카메라는 반도체/전해질 계면의 실시간 이미징을 가능하게 합니다. 이제 측정 중 샘플 표면에서 발생하는 현상을 정확하게 확인할 수 있습니다. III족 질화물의 경우, ECVPro+ UV 옵션은 GaN, InGaN, AlGaN의 최적 프로파일링을 위해 시스템 성능을 확장합니다.
수은 프로브 대안: ECVPro+의 정확성과 재현성은 수은 프로브에 대한 실용적이고 안전하며 환경 친화적인 대안을 제공합니다. ECVPro+는 칼로멜 기준 전극을 사용하지 않으며, 수은을 전혀 포함하지 않습니다. 수평 스테이지는 웨이퍼 전체의 공간 분포를 간편하고 편리하게 모니터링할 수 있도록 합니다. 공핍 프로파일 모드와 초반복 접촉 면적을 활용하여 ECVPro+는 웨이퍼 전체의 표면 도핑 변화를 정확하게 측정할 수 있습니다.
홀 측정의 대안: ECVPro+는 홀 측정에 비해 여러 장점을 제공합니다. 여기에는 전기적으로 활성화된 도펀트 측정 및 개별 구조층 정보 측정이 포함됩니다. 또한, ECVPro+는 다양한 소재와 구조에 적용할 수 있으며, Si 또는 적합한 PN 구조에만 국한되지 않습니다.
특징
작업자의 변동성을 제거합니다. 작업자 교육 시간이 단축됩니다. 시료 전처리가 간소화되고, 직관적인 소프트웨어가 작업자를 단계별로 안내하여 오류 발생 가능성을 줄입니다. 레시피 기반 작동 방식 덕분에 복잡한 구조의 프로파일링 시 작업자의 개입이 없습니다.
이 새로운 설계는 씰링 링의 수명을 연장하고 고가의 칼로멜 전극 비용을 절감합니다. 신호 전극과 접점 세트의 교체 빈도도 줄어듭니다.
바닥형 디자인으로 다른 프로파일러에 비해 설치 면적이 약 두 배로 줄어듭니다. 전해액과 폐기물이 장치 내부에 저장되므로 인접한 습식 벤치가 필요하지 않습니다.