Toho ECVPro+ 연혁 (타임라인)
1974년: ECV 프로파일링 기술, British Telecom 연구소에서 Ambridge, Faktor 등이 개발하여 전 세계에 소개됨
1983년: Polaron, ECV PN4300 상용화
1985년: BioRad, Polaron 인수
2000년: Accent, Bio-Rad의 반도체 부문 인수
2004년: Accent, ECVPro 리뉴얼
2007년: Accent, Nanometrics와 합병 → 이 시점부터 Toho에서 생산 시작
2019년: Nanometrics, Onto Innovation으로 합병
2024년 6월: Toho로 ECVPro+ 완전 이전 예정
주요 진화
초기 수동형 시스템에서 완전 자동화 ECV Pro로 발전
Wide Bandgap 소재용으로 확장 가능